作者：繁晟

近日，上交所科创板IPO受理名单中出现了一个熟悉的名字——北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”）。继2024年6月“撤单”后，这家半导体设备龙头再度开启资本之旅。

相较于前次申报，华卓精科此次IPO拟募资额从7.35亿元大幅上调至35亿元，对应估值从29.40亿元蹿升至140亿元，计划用于半导体关键零部件研发及制造项目、高端半导体整机设备研发及制造项目、补充流动资金等。

拟募资额及估值激增背后更被外界关注的是——华卓精科在招股书中彻底“撕掉”光刻机的标签。要知道，前次申报期间，华卓精科一度被市场誉为“光刻机概念第一股”。

而与前次申报相似的是，华卓精科此次IPO同样遭遇业绩“变脸”。更麻烦的是，随着营收规模增速及成长性大幅缩水，该公司还需面对未分配利润近10年来首次转负困境。这意味着，若累计未弥补亏损持续存在，其股东短期内将无法获得现金分红。

时隔两年，这家昔日的光刻机“宠儿”究竟发生了什么？

背后的“清华系”与“消失”的光刻机

2012年，在清华大学的支持下，朱煜等8位清华大学机械工程系IC制造装备研究室核心成员走出实验室，共同出资设立华卓有限（华卓精科前身）。

作为国内领先的集成电路专用设备及关键部件供应商，华卓精科主要从事半导体专用设备整机及零部件的研发、生产和销售，是业内少数兼具超精密测控核心技术与多类关键先进制程半导体设备及零部件产业化能力的厂商。

招股书显示，据QYResearch等机构数据，2025年，华卓精科四大核心产品——激光退火设备、晶圆键合设备、精密运动系统及静电卡盘国内市占率分别为7.05%、4.43%、7.94%、2.98%。

华卓精科创始人系现年61岁的朱煜，拥有博士研究生学历。1983年8月至2004年9月，朱煜任教于中国矿业大学，先后担任讲师、副教授；2001年7月至2004年9月，于清华大学从事博士后研究；2004年10月至今，担任清华大学教授。2007年至2025年，朱煜曾先后担任七星华创、北方华创、芯源微、中科仪、富创精密、长鑫科技等公司独立董事。

招股书显示，朱煜在清华大学担任长聘教授、博士生导师，需要承担学校的教学研究任务，华卓精科董事长需要承担主持股东大会，召集、主持董事会会议等程序性事务。为有效协调平衡学校教学研究任务与华卓精科的经营决策事务，朱煜2015年7月决定不担任董事长、总经理等职务，保留董事及首席科学家职务。

除朱煜外，在华卓精科任职的“清华系”成员还有董事张鸣（技术顾问）、杨开明（技术顾问）、成荣，兼职职务分别为清华大学研究员、研究员、副研究员。

截至2025年末，华卓精科与清华大学共同所有163项专利技术以及1项独占实施许可专利。对于共同拥有的163项专利，华卓精科与清华大学通过协议约定其具有该部分专利技术的独占实施权，清华大学具有收益分配权利。

华卓精科最被外界关注的专利技术于2014年3月1日获得。彼时，华卓精科与清华大学签署“光刻机双工件台技术转移与实施”《技术转让合同书》，合同总金额为800万元及后续收益提成。

2020年4月，华卓精科向上海微电子发货一台光刻机双工件台。在高端光刻机整机市场被荷兰的ASML公司长期垄断的背景下，这一消息迅速引爆资本市场。仅过了2个月，华卓精科便带着光刻机“光环”递表。

然而，华卓精科的首次IPO之路堪称一波三折。2021年7月29日，科创板上市委2021年第51次审议会议审议结果公告显示，对华卓精科的上市申请给出“暂缓审议”的决定。在现场问询中，上市委要求华卓精科说明光刻机双工件台的产业化前景、技术研发是否对清华大学构成重大依赖；在结合光刻机双工件台尚未实现产业化的情况下，需进一步落实主要业务是否符合科创板定位和发行上市条件。

2021年9月17日，华卓精科科创板IPO申请二度上会，并获得上委会“通过”，但其仍需一步说明纳米精度运动及测控系统和相关业务的信息披露是否符合国家法律法规规定和科创板发行上市信息披露要求；需进一步落实的事项为：按照国家法律法规的规定和与客户的合同义务要求进一步完善招股说明书的信息披露内容。

IPO参考对比华卓精科首次申报期间的招股书发现，其第一版申报稿共计提及“光刻机”116次，第一版上会稿提及“光刻机”46次、第二版上会稿提及“光刻机”27次（招股书主文内容仅提及4次）。尽管华卓精科主动降低“光刻机”曝光度，仍未能改变其首次IPO终止的结果。

2026年2月12日，“撤单”逾两年半后，华卓精科重启上市辅导，再次向科创板发起冲刺。而在中介机构配置上，华卓精科完成“大换血”：辅导券商由东兴证券更换为招商证券，审计机构及律师分别变更为容诚会计师事务所、邦盛律师事务所。

至于备受关注的光刻机“出镜率”方面，华卓精科此次IPO招股书共提及27次，且均出现在专利技术明细中，在招股书主文内容中已“消失”。曾经的光刻机客户上海微电也仅作为国内半导体设备制造商被提及一次。华卓精科首次IPO的“光刻机概念”成色几何，已不言自明。

业绩再度“变脸” 补助政策变动“惹的祸”？

失去光刻机的“光环”后，与首次递表后遭遇业绩“变脸”的情况类似，华卓精科此次IPO申报期间的业绩同样难言乐观。

招股书显示，2023年至2025年（以下简称“报告期内”），华卓精科营业收入分别为3.20亿元、6.27亿元、6.57亿元，远高于前次申报期间的1.52亿元峰值，且过去3年复合增长率超40%；归母净利润分别为-7268.42万元、-6562.38万元、-9533.11万元，而前次申报期间均为盈利状态；未分配利润为-5078.34万元，自2015年以来首次出现未弥补亏损的情形。

尽管华卓精科亏损的主要原因——研发投入从2024年的2.55亿元降至2025年的1.77亿元，但来自政府补助的减少成为其2025年亏损扩大的原因之一。报告期内，该公司计入其他收益的政府补助分别为1.14亿元、7853.24万元、5410.87万元，呈逐年大幅下滑态势。

对于政府补助政策变动的风险，华卓精科表示，如果未来政府政策支持力度有所减弱，政府补助政策发生不利变化，该公司取得的政府补助金额将会有所减少，进而对经营业绩产生一定影响。

相较于业绩“变脸”，华卓精科递表前的股权变动更为剧烈。招股书显示，2024年6月（首次IPO终止同月）至2025年12月，华卓精科共发生多达17次股权转让。其中，深陷债务危机的红星美凯龙以及厦门博孚利、浑璞玉六、汇天泽等投资机构“清仓退出”；“水木系”和员工持股平台艾西科技分别“套现”3亿元、1200万元。同期，华卓精科估值从16.20亿元降至12亿元，后回升至32亿元，并一路蹿升至62亿元，但最后一笔股权转让于2025年12月完成后，其估值又降至32亿元。

华卓精科在前次申报的审核问询期间，曾将拟募资从10.35亿元大幅下调至7.35亿元，对应估值从41.4亿元缩水至29.4亿元。此番二度闯关，在递表前净亏损进一步扩大、估值坐上“过山车”的情况下，失去光刻机“标签”的华卓精科巨额募资计划是否会再度调整，IPO参考将持续关注。